Numerical scheme for research of processing procedures in micro and nano electronic devices

• Autorzy: Yeroshin S. , Bublichenko S.

Warianty tytułu

RU

Matematicheskaja model' issledovanija tekhnologicheskikh processov mikro- i nanoelektronnykh priborov

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

RU

Słowa kluczowe

EN

numerical scheme; technology system; fine mechanics; single crystal; processing procedure; microelectronic device; nanoelectronic device; fine wafer cutting; cutting system; semiconductor device; integrated circuit

• Wydawca: -
• Czasopismo: Teka Komisji Motoryzacji i Energetyki Rolnictwa
• Rocznik: 2010
• Tom: 10D
• Opis fizyczny: p.42-50,ref.

Twórcy

autor

Yeroshin S.

• Volodymyr Dahl East-Ukrainian University, Lugansk, Ukraine

autor

Bublichenko S.

Bibliografia

• 1. Zgurovskii M. Z.: Sistemnyi analiz: problemy, metodologiya, prilozheniya / M. Z. Zgurovskii, N.D. Pankratova ; NAN Ukrainy ; NTUU "KPI" ; In-t prikladnogo sistemnogo analiza. - K. : Naukova dumka, 2005. - 743 s.
• 2. Sistemna strategiya tehnologichnogo peredbachennya v innovaciinii diyal'nosti / Zgurovskii M.Z., Pankratova N.D. // Sistemni doslidzhennya ta informaciini tehnologii. — 2003. — No 3. — S.7-24.
• 3. Zagal'na model' i metodi ierarhichnogo planuvannya funkcionuvannya skladnih organizaciino-virobnichih sistem iz obmezhenimi resursami / Pavlov O.A., Misyura O.B., Mel'nikov O.V., Ruhani S.A. II Sistemni doslidzhennya ta informaciini tehnologii. — 2005. — N°4—S. 7-23.
• 4. Ierarhichne planuvannya v sistemah, sho mayut' merezhne predstavlennya tehnologichnih procesiv i obmezheni resursi, yak zadacha priinyattya rishen' / Zgurovs'kii M.Z., Pavlov O.A. II Sistemni doslidzhennya ta informaciini tehnologii. — 2009. — No 3. — S. 70-75.
• 5. Novoe v sinergetike: Vzglyad v tret'e tysyacheletie // Informatika: neogranichennye vozmozhnosti i vozmozhnye ogranicheniya / Red. G.G. Malineckii, S.P. Kurdyumov. M.: Nauka, 2002, 480 s. (www.keldysh.ru/book/ns.html).
• 6. Kapica S.P., Kurdyumov S.P., Malineckii G.G.: Sinergetika i prognozy budushego / 3-e izd. M.: URSS, 2003. 288 s.
• 7. Krylov S.M.: Teoriya i metody razrabotki mnogofunkcional'nyh programmiruemyh tehnologicheskih sistem na osnove formal'no - tehnologicheskogo analiza. // Avtoref. diss. dokt. tehn. nauk, Samarskii gos.tehn.un-tet, Samara, 2005.
• 8. Krylov S.M.: Formal'naya tehnologiya i evolyuciya. M.: Mashinostroenie - 1, 2006.- 384s.
• 9. Gubin V.B.: Istoriya s entropiei // Filosofskie nauki. 1997. Vyp. 3-4. S. 98-120.
• 10. Issledovanie morfologii poverhnosti keramicheskih podlozhek komponentov elektronnoi tehniki // Utkin V.N., Isakov M.A., Hapugin O.E. / Sovremennye naukoemkie tehnologii. 2007. No 11. S. 23-26.
• 11. Zadeh L.A.: Fyzzy sets//Inf. Contr. 1965, N°8. P. 338-353;
• 12. Zade L.A.: Osnovy novogo podhoda k analizu slozhnyh sistem i processov prinyatiya reshenii// Matematika segodnya. M.: Znanie. 1974. S. 5-49;
• 13. Burbaki N.: Arhitektura matematiki // Ocherki po istorii matematiki. M. : Mir, 1963.
• 14. Burbaki N.: Teoriya mnozhestv. M. : Mir, 1965.
• 15. Zotin A.I., Zotin A.A.: Napravlenie, skorost' i mehanizmy progressivnoi evolyucii: Termodinamicheskie i eksperimental'nye osnovy. M.: Nauka, 1999. 320s.
• 16. Mesarovich N., Tahikara Ya.: Obshaya teoriya sistem: matematicheskie osnovy. M.: Mir, 1978. 312s.
• 17. Polak L.S.: Variacionnye principy mehaniki, ih razvitie i primenenie v fizike. M.: Fizmatgiz. I960. 600s.
• 18. Hazen A.M.: Vvedenie mery informacii v aksiomaticheskuyu bazu mehaniki. M.: Raub, 1998. 168s.
• 19. Haitun S.D.: Mehanika i neobratimost'. M.: Yanus, 1996. 448 s.
• 20. Gzyl M.: The method of maximum Entropy. Singapore, New Jersey, London, Hong Kong: World Scientific, 1995. 146p.
• 21. Jaynes E.T.: Informational theory and statistical mechanics // Phys. Rev. 1957. V. 106. Pp. 620-630.
• 22. Newell A., Simon H.A.: The Informatics as Empirical Investigation: Symbol and Search //ACM Turing Award Lectures. N.Y.: ACM Press, 1987.
• 23. Krylov S.M.: Vzaimosvyaz' mezhdu entropiinym, struktumym i funkcional'nym opisaniem ob'ektov i sistem. / Vestn.Samar.gos.tehn.un-ta. Seriya “Fiziko-matematicheskie nauki”. 2003. No 19, s. 156-160.
• 24. Golicyn G.A. Levich A.P.: Variacionnye principy v nauchnom znanii. / Filosofskie nauki. 2004. No 1, s. 105-136. (http://www.chronos.msu.ru/RREPORTS/ golitsyn_variatsionnye/golitsyn_ variatsionnye.htm).
• 25. Shannon C.E.: A mathematical theory of communications // Bell Systems Tech. J/1948. V. 27. Pp. 623-656.
• 26. Shambadal' P.: Razvitie i prilozheniya ponyatiya entropii. Per. s fr.- M.: Nauka, 1967. 280s.