Spectroscopic study of reactive sputtering of titanium in the linear magnetron

• Autorzy: Kulakowska-Pawlak B. , Sobejko D.
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

PL

Słowa kluczowe

EN

linear magnetron; sputtering poisonin; emission spectroscopy; titanium

• Wydawca: -
• Czasopismo: Acta Agrophysica
• Rocznik: 2002
• Tom: 80
• Opis fizyczny: p.17-23,fig.,ref.

Twórcy

autor

Kulakowska-Pawlak B.

• Wroclaw University of Technology, Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, Poland

autor

Sobejko D.