Hydrogenated carbon-silicon films fabricated by PACVD from tetramethylsilane in the A.F. three-electrode reactor

• Autorzy: Tyczkowski T. , Gubiec K.
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

PL

Słowa kluczowe

EN

tetramethylsilane; carbon-silicon film; audio-frequency glow discharge; three-electrode reactor; electronic structure

• Wydawca: -
• Czasopismo: Acta Agrophysica
• Rocznik: 2002
• Tom: 80
• Opis fizyczny: p.239-246,fig.,ref.

Twórcy

autor

Tyczkowski T.

• Technical University of Lodz, Wolczanska 213, 93-005 Lodz, Poland

autor

Gubiec K.